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场发射扫描电子显微镜

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  • 参数规格

设备型号

ZEISS Sigma 300

设备状态

已购置

主要技术指标

加速电压:30 kV

放大倍率:不小于1M

二次电子分辨率:≤1.0nm@15kV,≤1.6nm@1kV

最大电子束流:不小于20nA

束流稳定性:优于0.3%/h

能量范围:20eV-30keV

能量分辨率:Mn、Ka优于129eV(@计数率100,000cps)

主要功能

适用于各种样品(金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等)的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析

主要特点

对于不导电样品,特别是氧化物纳米材料和半导体样品,可直接在超低电压下进行高分辨率观察

联系方式

杨老师:15858315249

王老师:15068323396