设备状态

已购置

主要技术指标

加速电压：30 kV

放大倍率：不小于1M

二次电子分辨率：≤1.0nm@15kV，≤1.6nm@1kV

最大电子束流：不小于20nA

束流稳定性：优于0.3%/h

能量范围：20eV-30keV

能量分辨率：Mn、Ka优于129eV（@计数率100,000cps）

主要功能

适用于各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析

主要特点

对于不导电样品，特别是氧化物纳米材料和半导体样品，可直接在超低电压下进行高分辨率观察

联系方式

杨老师：15858315249

王老师：15068323396